Metastable orthorhombic Ta3N5 thin films grown by magnetron sputter epitaxy
- Författare
- Linköpings universitet Jui-Cheng Chang
- (Jui-Che Chang., Funding agencies: Vetenskapsrådet (grant numbers 2018-04198 and 2021-00357), Energimyndigheten (grant number 46658-1), Stiftelsen Olle Engkvist Byggmästare (grantnumber 197-0210), The Swedish Government Strategic Research Area in Materials Science on Functional Materials at Linköping University (Faculty Grant SFO-Mat-LiU 2009-00971), Härtill 2 uppsatser, Lic.-avh. (sammanfattning) Linköping : Linköpings universitet, 2022)
- Genre
- Avhandlingar, theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Department of Physics, Chemistry and Biology, Linköping University | 2022 | Sverige, Linköping | 33 sidor illustrationer | 978-91-7929-499-1 |