Metastable orthorhombic Ta3N5 thin films grown by magnetron sputter epitaxy

Författare
Linköpings universitet Jui-Cheng Chang
(Jui-Che Chang., Funding agencies: Vetenskapsrådet (grant numbers 2018-04198 and 2021-00357), Energimyndigheten (grant number 46658-1), Stiftelsen Olle Engkvist Byggmästare (grantnumber 197-0210), The Swedish Government Strategic Research Area in Materials Science on Functional Materials at Linköping University (Faculty Grant SFO-Mat-LiU 2009-00971), Härtill 2 uppsatser, Lic.-avh. (sammanfattning) Linköping : Linköpings universitet, 2022)
Genre
Avhandlingar, theses
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Department of Physics, Chemistry and Biology, Linköping University 2022 Sverige, Linköping 33 sidor illustrationer 978-91-7929-499-1